微量水分析儀的敏感元件是水感性石英晶體，它是在石英晶體表面涂覆了一層對水敏感(容易吸濕也容易脫濕)的物質。當濕性樣品氣通過石英晶體時，石英表面的涂層吸收樣品氣中的水分，使晶體的質量增加，從而使石英晶體的振蕩頻率降低。然后通入干性樣品氣，干性樣品氣萃取石英涂層中的水分，使晶體的質量減小，從而使晶體的振蕩頻率增高。在濕氣和干氣兩種狀態下振蕩頻率的差值，與被測氣體中水分含量成比例。由于吸附和脫附的交替轉換，使晶體表面質量發生變化，從而振蕩頻率發生變化，水分濃度通過測量晶體振蕩頻率的變化而被測出來。
 

　　校驗時，干氣通過內部的水分發生器，加入一定量的水分，形成校驗用的標氣。傳感器交替通入干參比氣和水分發生器來的標準氣，測量出標準氣的水分含量值，測出的水分含量值與儲存的標準數值比較，如果數值在允許范圍內，分析儀會自動調整校準，如果數值超出允許范圍，會發出報警信號，需更換水分發生器。
 

　　微量水分析儀特點：
 

　　1.采用通用內繞式玻璃電解池(內徑0.8mm極距0.08mm或內徑1.0極距0.1)，膜層附著均勻、牢固、不流失、響應快，吸收效率高，使用壽命長，正常情況下，可終身使用。
 

　　2.采用氣流系統，應用旁通流量自動調節新技術，增加了三種功效：安全功效：當系統壓力達到設定壓力時，旁通閥自動打開，從而保證了高壓氣源檢測中，儀器不會因氣源閥泄漏或不慎的測量操作所損傷。自動調節功效：當氣源壓力變化時，旁通閥能自動開大或關小，使測量流量始終保持穩定，從而保證測量結果，不受氣源變化的影響。自動關閉功效：當氣源關閉時，旁通閥自動關閉，以防止大氣水份直接擴散到電解池。
 

　　3.管路全部采用特制憎水不銹鋼軟性管，氣體在入檢測池前、增設了入口濾器，在池尾又設置一道防逆濾器，不僅大大延長了電解池的使用周期，而且儀器的快速和準確性無明顯影響。
 

　　4.本底檢測，采用封閉法，操作簡單。
 

　　5.電解池恒溫，保證了儀器在較低的環境溫度下，仍具有較快的響應速度。
 

　　6.有特制高壓氣體取樣器和憎水不銹鋼軟性取樣管路。